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无尘室等级，无尘室标准，无尘室等级标准是什么？ (2009/08/10 13:56)

         依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Atandard（FS）209E，1992】，可将无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级，如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述，则可假设尘粒的尺寸不是0.5um，无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如：10级在0.2um（尘粒尺寸在0.2um或更大下，密度不大于75颗/立方英尺），1级在0.1um（尘粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35颗/立方英尺）。而集成电路制造所需的无尘室之洁净度必须优于1000级。

无尘室等级，无尘室标准，无尘室标准定义

一、无尘室定义

将空气中之尘埃、压力、温度、湿度、气流分布之情形及速度，控制于一定范围内之空间。此处所指之尘埃为肉眼无法看见的灰尘及

粒子，且指一般空气清净机无法完全清除之灰尘。

无尘室一般分为电子、精密工业用IndustraialCleanRoom（ICR）；及需控制微生物浓度等制药、食品产业用BiologicalCleanRoo

（BCR）。

二、联邦规格无尘室等级

现今一般多奉行与美国所制定的联邦规格（U.S.Federalstandard209b），BCR则多参考明定生物粒子限制值的NASA规格（美国航空

署5340.2规格）。

其Fed.std清洁度的表示法为：1ft³空气中，含有多少个0.5μm（micro）以上的微粒子，及称为[等级○○]。例如：空气中含有10个0.5

以下时，表示为“等级10”。二自然界大气中通常含有300000~30000000个微粒子。

三、在JIS标准下，无尘室清洁度，共分为8个等级

一般清洁度是指空气的洁净等级，分为等级1、2···8，8阶段。在1立方公尺的空气中，粒径0.1微米的灰尘若是在10个以下时为

1；百个以下是100=102是等级2；千个以下时是1000=103等级3，一次类推。

21世界，最尖端产业的发展，加速了产业结构的变革，无尘室设立之必要性也相对地提高。商品日渐的小型化和精密化，尘埃和温湿

的变化对商品的完成度亦造成极大的危害，导致品质低下。伴随商品的高品质要求，环境无尘化的需求也日益提高。因此在无尘室中

用防尘材料及商品都显得格外重要。

所谓的无尘室是一个人造的环境，里面含有的粒子远低于一般的环境，随着集成电路的级数的快速成长，也增加了对制造环境(无尘室)洁净度要求，在工业上即使使粒子之尺寸想小于0.1微米.也可能阻碍产品的运作或降低其寿命。优于纳米技术的兴起，造成半导体关键尺寸持续缩小，集成电路积集度不断地增加，尘粒更容易使芯片失效或可靠度恶化。例如当金属尘粒落到金属导线时，就可能会使金属导线形成短路。又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上，可能将其腐蚀，所以无尘室为集成电路制造不可或缺的要素。