|
装修设计Decoration design
机电工程Mechatronic Engineering
暖通空调HVAC
综合布线Integrated wiring
钢结构设计Steel structure design
消防设计Fire protection design
综合工程Integrated engineering
|
|
|
 朗艺首页  行业规范 洁净室 洁净室标准规格说明（一） |
洁净室标准规格说明（一）
|
目前世界各国虽有自订规格，但普遍还是采用美国联邦标准209为多，今就209D及209E和世界上其他各国之所订标准再做更进一步之介绍与相互比较。表1-1为美国联邦标准209D之洁净室规格。 |
表1-1 美国联邦标准209D洁净室规格
|
洁净室等级（Class)
|
微尘粒子 |
压力 |
温度 |
风速与换气率（次/hr) |
照度lux |
|
粒子大小um |
粒子数目Particles/ft3 |
mmAg |
值域℃ |
推薦值℃ |
误差值℃ |
最大MAX% |
最小MIN% |
误差% |
层流方式0.35~0.55 m/s
|
1080
~
1620
|
|
1 |
≧0.5 |
≦1 |
＞1.3 |
19.4~25 |
22.2 |
±2.8
特
殊
需
求
±1.4
|
45 |
30 |
±10
特
殊
需
求
±5
|
|
≧5.0 |
0 |
|
10 |
≧0.5 |
≦10 |
|
≧5.0 |
0 |
|
100 |
≧0.5 |
≦100 |
|
≧5.0 |
≦1 |
|
1000 |
≧0.5 |
≦1000 |
乱流方式≧20 次/hr |
|
≧5.0 |
≦10 |
|
10000 |
≧0.5 |
≦10000 |
|
≧5.0 |
≦65 |
|
100000 |
≧0.5 |
≦100000 |
|
≧5.0 |
≦700 |
表1-2 美国联邦标准209E
|
至于209E和209D等最大之不同点在于209E表示单位增加了公制单位，即洁净室等级以“M”字头表示，如M1、M1.5、M2、M2.5、M3......依此类推，其目的在于配合国际公制单位之标准化。M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中≧0.5um之微尘粒子数目字以10的幂次方表示，而取指数为之；若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间（即非整数，则以1.5、2.5、或3.5......等表示之。表1-2即为1992年9月新颁布之美国联邦标准209E之内容，前述之M字母后的数字，可从表中0.5um列的数值中求出，读者可试算之。
|
|
洁净度等级
|
微尘粒子
|
|
0.1um
|
0.2um
|
0.3um
|
0.5um
|
5um
|
|
单位
|
单位
|
单位
|
单位
|
单位
|
|
公制
|
英制
|
(m3)
|
(ft3)
|
(m3)
|
(ft3)
|
(m3)
|
(ft3)
|
(m3)
|
(ft3)
|
(m3)
|
(ft3)
|
|
M1
|
|
350
|
9.91
|
75.7
|
2.14
|
30.9
|
0.875
|
10.0
|
0.283
|
-
|
-
|
|
M1.5
|
1
|
1240
|
35.0
|
265
|
7.50
|
106
|
3.00
|
35.3
|
1.00
|
-
|
-
|
|
M2
|
|
3500
|
99.1
|
757
|
21.4
|
309
|
8.75
|
100
|
2.83
|
-
|
-
|
|
M2.5
|
10
|
12400
|
350
|
2650
|
75.0
|
1060
|
30.0
|
353
|
10.0
|
-
|
-
|
|
M3
|
|
35000
|
991
|
7570
|
214
|
3090
|
87.5
|
1000
|
28.3
|
-
|
-
|
|
M3.5
|
100
|
-
|
-
|
26500
|
750
|
10600
|
300
|
3530
|
100
|
-
|
-
|
|
M4
|
|
-
|
-
|
75700
|
2140
|
30900
|
875
|
10000
|
283
|
-
|
-
|
|
M4.5
|
1000
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
35300
|
1000
|
247
|
7.00
|
|
M5
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
100000
|
2830
|
618
|
17.5
|
|
M5.5
|
10000
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
353000
|
10000
|
2470
|
70.0
|
|
M6
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
1000000
|
28300
|
6180
|
175
|
|
M6.5
|
100000
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
3530000
|
100000
|
24700
|
700
|
|
M7
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
10000000
|
283000
|
61800
|
1750
|
|
美国联邦标准FS 209D 都以英制每立方英尺为单位，而日本则是采用公制，即以每立方公尺为单位；另外209D与日本JIS（B9920-1989）标准中另一不同点为209D是以0.5um之粒子数为计数基准，而日本则以0.1um微粒子为计数标准。日本标准之表示法是以Class1,Class2,Class3,......Class8表示，即最好之等级为Class1,最差则为Class8,表1-3为日本JIS（9920-1989）之标准规定的粒子上限数（个/m3）。其Class1，Class2...之数目字以0.1um粒子为基准，而以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10之幂次方，取其指数而得。
|
表1-3 日本JIS（9920 ~1989）标准
|
粒径级数 |
Class1 |
Class2 |
Class3 |
Class4 |
Class5 |
Class6 |
Class7 |
Class8 |
|
0.1 |
101 |
102 |
103 |
104 |
105 |
106 |
107 |
108 |
|
0.2 |
2 |
24 |
236 |
2，360 |
23，600 |
- |
- |
- |
|
0.3 |
1 |
10 |
101 |
1，010 |
10，100 |
101，000 |
1，010，000 |
10，100，000 |
|
0.5 |
- |
- |
35 |
350 |
3，500 |
35，000 |
350，000 |
3，500，000 |
|
5.0 |
- |
- |
- |
- |
29 |
290 |
2，900 |
29，000 |
上一篇： 洁净室标准规格说明（二）下一篇： 洁净室等级标准
免责声明：作品版权归所属媒体与作者所有!!本站刊载此文不代表同意其说法或描述，仅为提供更多信息。如果您认为我们侵犯了您的版权，请告知！本站立即删除。有异议请联系我们。
|
