洁净室标准规格说明（二）-洁净室|上海办公室装修规范|上海办公室设计规范|上海办公室装修设计规范-上海朗艺装饰设计工程有限公司

在德国工业及医学等之多数领域中，洁净室是为相关产业界所重视和期望发展之技术，因此在1967年完成了德国的洁净室规格，在德国规格中洁净室等级之表示法与美国规格不同，其表示法是以4*10”的形式表示粒径0.5um以上之粒子数，而以其中之指数n规定等级，如4*10³即表示等级为3，此等级与美国联邦规格Class100想近似。表1-4为德国规格所容许之粒子数与美国、法国、近似等级之表示。

表1-4 德国规格表

等级	微尘粒径(um)			与别国等级比较
等级	0.5	1	5	美国	法国
3	4*10³	1*10³	-	100	4000
4	4*10⁴	1*10⁴	0.03*10⁴	-	-
5	4*10⁵	1*10⁵	0.03*10⁵	10000	400000
6	4*10⁶	1*10⁶	0.03*10⁶	100000	4000000

表1-5为美国联邦标准209D标准粒子之数目上限值（个/ft³）（以0.5u粒子为依准）。由于美国与日本之规格中所表示之单位分类不同，为让使用人员有一快速之获知二者之相近标准等级，以期运用于工作上，故有必要将二者之间做一洁净度级别之换算，如表1-6

表1-5 美国209D规定粒子数（上限值）

等级	Class1	Class10	Class100	Class1000	Class10，000	Class100，000
0.1	35（1，225）	350（12，250	-	-	-	-
0.2	7.5（263）	75（2，630）	750（26，300）	-	-	-
0.3	3（105）	30（1，050）	300（10，500）	-	-	-
0.5	1（35）	10（350）	100（3，500）	1000（35，000）	10，000（350，000）	100，000（3，500，000）
5.0	-	-	-	7	70	700

*（）内之数值单位：个/M³。

表1-6 美日洁净度级别换算

日本	美国
级别3	Class 1
级别4	Class 10
级别5	Class 100
级别6	Class 1000
级别7	Class 10000
级别8	Class 100000

除了美国、日本、德国、之洁净室标准外，世界上尚有英国、法国、澳洲及韩国、中国大陆之规格，表1-6即为世界各国洁净度等级规格之比较。

表1-6 世界各国洁净度等级规格表

国名	美国	美国	日本	英国	德国	法国	澳洲	韩国	中国大陆
规格	FS209D	FS209E	JIS B 9920	BS 5295	VDI 2083	AFN 4410	AS 1386	KS	QJ2214
年度	1988	1992	1989	1989	1990	1981	1989	1991	1991
基准粒子(um)	0.5	0.5	0.1	0.5	1	0.5	0.5	0.3	0.1 0.5
单位	pcs/ft³	pcs/M³	pcs/M³	pcs/M³	pcs/M³	pcs/M³	pcs/M³	pcs/M³	pcs/M³
Class	-	-	1	-	-	-	-	M1	0.1um~1
	-	M1	2	-	0	-	-	M10	0.1um~5
	1	M1.5	3	C	1	-	0.035	M100	0.1um~10
	10	M2.5	4	D	2	-	0.35	M1000	1
	100	M3.5	5	E or F	3	4,000	3.5	M10000	100
	1000	M4.5	6	G or H	4	-	35	M100,000	1,000
	10,000	M5.5	7	I	5	400,000	350	M1,000,000	10,000
	100,000	M6.5	8	J	6	4,000,000	3500	M10,000,000	100,000
	-	M7	-	K	7	-	-	-	-
	-	-	-	L	-	-	-	-	-

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