上海办公室装修公司

 

中华人民共和国国家标准

洁净厂房设计规范

编制说明

本规范是根据原国家基本建设委员会（78）建发设字第562号文的要求，由

我部负责主编的。具体由我部第十设计研究院会同机械工业部第十一设计研究院、

航空工业部第四规划设计研究院、电子工业部第十一设计研究院、兵器工业部第

五设计研究院、中国船舶工业总公司第九设计研究院、航天工业部第六设计研究

院、化工部第六设计院、中国有色金属总公司北京有色治金设计研究总院、中国

建筑科学研究院和哈尔滨建筑工程学院等单位共同编制而成。

在编制过程中，规范编制组进行了广泛的调查研究，认真总结了我国洁净厂

房建设和使用的实践经验，组织有关单位开展了必要的科学试验研究工作，并广

泛地征求了全国有关单位的意见。最后，由我部会同有关部门审查定稿。

本规范共分八章和七个附录，主要的内容有：总则、空气洁净度等级、总体

设计、建筑、空气净化、给水排水、工业气体管道、电气等。

鉴于本规范系初次编制，执行过程中，希各单位结合工程实践和科学研究，

认真总结经验，如发现需要修改和充实之处，请将意见和有关资料寄交我部第十

设计研究院，以供今后修订时参考。

电子工业部

一九八四年八月二十七日

目录

第一章 总则

第二章 空气洁净度等级

第三章 总体设计

第一节 洁净厂房位置选择和总平面布置

第二节 工艺布置和设计综合协调

第三节 噪声控制

第四节 微振控制

第四章 建筑

第一节 一般规定

第二节 人员净化和物料净化设施

第三节 防火和疏散

第四节 室内装修

第五节 装配式洁净室

第五章 空气净化

第一节 一般规定

第二节 洁净室正压控制

第三节 气流组织和送风量

第四节 空气净化处理

第五节 采暖通风

第六节 风管和附件

第六章 给水排水

第一节 一般规定

第二节 给水

第三节 排水

第四节 消防设施

第七章 工业气体管道

第一节 一般规定

第二节 管道材料、阀门和附件

第三节 管道连接和清洗

第四节 安全技术

第八章 电气

第一节 配电

第二节 照明

第三节 控制、通信和防护

附录一名词解释

附录二洁净室空气洁净度的测试

附录三洁净厂房生产的火灾危险性分类举例

附录四净化空气调节系统设计对施工的要求

附录五净化空气调节系统设计对维护管理的要求

附录六净化空气调节系统风管壁厚

附录七本规范用词说明

第一章 总则

第1．0．1条洁净厂房设计必须贯彻执行国家的有关方针政策，做到技术

先进、经济合理、安全适用、确保质量、符合节约能源和环境保护的要求。

第1．0．2条本规范适用于新建和改建、扩建的洁净厂房设计，但不适用

于以细菌为控制对象的生物洁净室。本规范有关防火和疏散、消防设施章节的规

定，不适用于建筑高度超过24米的高层洁净厂房和地下洁净厂房的设计。

第1．0．3条在利用原有建筑进行洁净技术改造时，洁净厂房设计必须根

据生产工艺要求，因地制宜、区别对待，充分利用已有的技术设施。

第1．0．4条洁净厂房设计应为施工安装、维护管理、检修测试和安全运

行创造必要的条件。

第1．0．5条洁净厂房设计除应按本规范执行外，尚应符合现行的国家标

准、规范的有关要求。

第二章 空气洁净度等级

第2．0．1条空气洁净度应按表2．0．1规定划分为四个等级。

空气洁净度 表2．0．1

┌────┬──────────┬─────────┐

│等级 │每立方米（每升）空气│每立方米（每升）空│

│ │中≥0.5微米尘粒数 │气中≥5微米尘粒数 │

├────┼──────────┼─────────┤

│100级 │≤35×100（3.5） │ │

├────┼──────────┼─────────┤

│1000级 │≤35×1000（35） │≤250（0.25） │

├────┼──────────┼─────────┤

│10000级│≤35×10000（350） │≤2500（2.5） │

├────┼──────────┼─────────┤

│100000级│≤35×100000（3500）│≤5000（25） │

└────┴──────────┴─────────┘

注: 对于空气洁净度为100级的洁净室内大于等于5微米尘粒的计数，应进行多次采

样，当其多次出现时，方可认为该测试数值是可靠的．

第2．0．2条洁净室空气洁净度等级的检验，应以动态条件下测试的尘粒

数为依据。洁净室空气洁净度的测试，应符合附录二规定。

第三章 总体设计

@@& 第一节 洁净厂房位置选择和总平面布置

第3．1．1条洁净厂房位置的选择，应根据下列要求并经技术经济方案比

较后确定：

一、应在大气含尘浓度较低，自然环境较好的区域；

二、应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及散发大量粉尘和有害气体的

工厂、贮仓、堆场等有严重空气污染、振动或噪声干扰的区域，如不能远离严重

空气污染源时，则应位于其最大频率风向上风侧，或全年最小频率风向下风侧；

三、应布置在厂区内环境清洁、人流货流不穿越或少穿越的地区。

第3．1．2条对于兼有微振控制要求的洁净厂房的位置选择，应实际测定

周围现有振源的振动影响，并应与精密设备、精密仪器仪表允许环境振动值进行

分析比较。

第3．1．3条洁净厂房最大频率风向上风侧有烟囱时，洁净厂房与烟囱之

间的水平距离不宜小于烟囱高度的12倍。

第3．1．4条洁净厂房与交通干道之间的距离不宜小于50米。

第3．1．5条洁净厂房周围宜设置环形消防车道（可利用交通道路）。如

有困难时，可沿厂房的两个长边设置消防车道。

第3．1．6条洁净厂房周围的道路面层，应选用整体性好、发尘少的材新。

第3．1．7条洁净厂房周围应进行绿化。可铺植草坪、种植对大气含尘浓

度不产生有害影响的树木，并形成绿化小区，但不得防碍消防操作。

@@& 第二节 工艺布置和设计综合协调

第3．2．1条工艺布置应符合下列要求：

一、工艺布置合理、紧凑。洁净室或洁净区内只布置必要的工艺设备以及有

空气洁净度等级要求的工序和工作室；

二、在满足生产工艺要求的前提下，空气洁净度高的洁净室或洁净区宜靠近空

气调节机房；空气洁净度等级相同的工序和工作室宜集中布置；靠近洁净区入口 处宜布置空气洁净度等级较低的工作室；

三、洁净室内要求空气洁净度高的工序应布置在上风侧易产生污染的工艺设

备应布置在靠近回风口位置；

四、应考虑大型设备安装和维修的运输路线，并预留设备安装口和检修口；

五、应设置单独的物料入口，物料传递路线应最短，物料进入洁净区之前必

须进行清洁处理。

第3．2．2条洁净厂房内宜少设隔间，但在下列情况下可予以分隔：

一、按生产的火灾危险性分类，甲、乙类与非甲、乙类相邻的生产区段之间，

或有防火分隔要求者； 二、生产过程中产生较强噪声或散发较多热量、尘粒和有害气体，且不能采

取局部措施加以控制者；

三、生产联系少，并经常不同时使用的两个生产区段之间。

第3．2．3条洁净厂房的平面和空间设计，宜将洁净区、人员净化、物料

净化和其他辅助用房进行分区布置。同时应考虑生产操作、工艺设备安装和维修、

气流组织型式、管线布置以及净化空气调节系统等各种技术设施的综合协调效果。

第3．2．4条洁净厂房设计必须合理确定各种管线的平面位置和坚向标高。

第3．2．5条洁净厂房内各种固定技术设施（如送风口、照明器、回风口、 各种管线等）的布置，宜首先考虑净化空气调节系统的要求。

@@& 第三节 噪声控制

第3．3．1条洁净室内的噪声级，应符合下列要求：

一、动态测试时，洁净室内的噪声级不应超过70分贝A。

二、空态测试时，乱流洁净室的噪声级不宜大于60分贝A；层流洁净室的噪

声级不应大于65分贝A。

注：①由于技术经济条件限制，或噪声大于70分贝A对生产无影响时，噪声

级可适当放宽，但不宜大于75分贝A；

②上述噪声级是指在室内每一个工作点人耳位置（人离开）的测量值。对于

变动噪声，则取相同位置处在一个正常工作日内的等效连续声压级。 第3．3．2条 洁净室的噪声频谱限制，应采用倍频程声压级；各频带声压

级值不宜大于表3．3．2的规定。

噪声频谱限制 表3．3．2

┌─────────┬──┬──┬──┬──┬──┬──┬──┬──┐

│倍频程＼中心频 │ │ │ │ │ │ │ │ │

│ ＼高声＼率 │63 │125 │250 │500 │1000│2000│4000│8000│

│洁净＼压值＼（赫）│ │ │ │ │ │ │ │ │

│室分类＼（分贝） │ │ │ │ │ │ │ │ │

├────┬────┼──┼──┼──┼──┼──┼──┼──┼──┤

│空态 │乱流 │79 │70 │63 │58 │55 │52 │50 │40 │

│ ├────┼──┼──┼──┼──┼──┼──┼──┼──┤

│ │层流 │83 │74 │68 │63 │60 │57 │55 │54 │

├────┴────┼──┼──┼──┼──┼──┼──┼──┼──┤

│动态 │87 │78 │72 │68 │65 │62 │60 │59 │

└─────────┴──┴──┴──┴──┴──┴──┴──┴──┘

第3．3．3条洁净厂房的平、剖面布置，应考虑噪声控制的要求，其围护

结构应有良好的隔声性能，并宜使各部分隔声量相接近。

第3．3．4条洁净室内的各种设备均应选用低噪声产品。对于辐射噪声超 过洁净室允许值的设备，应设置专用隔声设施（如隔声间、隔声罩等）。

第3．3．5条净化空气调节系统噪声超过允许值时，应采取隔声、消声、

隔振等控制措施。

除事故排风外，应对洁净室内的排风系统进行减噪设计。

第3．3．6条净化空气调节系统，根据室内噪声级的要求，风管内风速宜

按下列规定选用：

一、总风管为6--10米／秒；

二、无送、回风口的文风管为6～8米／秒；

三、有送、回风口的文风管为3～6米／秒。

第3．3．7条洁净厂房的噪声控制设计必须考虑生产环境的空气洁净度要

求，不用因控制噪声而影响洁净室的净化条件。

@@& 第四节 微振控制

第3．4．1条洁净厂房和周围辅助性站房内有强烈振动的设备（包括水泵

等）及其通往洁净室的管道，应采取积极隔振措施。

第3．4．2条对洁净厂房内外各类振源，应测定其对洁净厂房的综合振动

影响。如受条件限制，也可根据经验对综合振动影响进行评价。并应与精密设备、

精密仪器仪表的允许环境振动值进行比较，以确定对其采取必要的田振措施。

第3．4．3条精密设备、精密仪器仪表的隔振措施，应考虑减少发尘量、

保持洁净室内合理的气流组织等要求。当采用空气弹簧隔振台座时，应对气温进 行处理，使其达到洁净室的空气洁净度等级。

第四章 建筑

@@& 第一节 一般规定

第4．1．1条洁净厂房的建筑平面和空间布局，应具有适当的灵活性。洁

净区的主体结构不宜采用内墙承重。

第4．1．2条洁净室的高度以净高控制，净高应以100毫基本模数。

第4．1．3条洁净厂房主体结构的耐久性与室内装备和装修水平相协调，

并应具有防火、控制温度变形和不均匀沉陷性能（地震区应符合抗震设计规定）。

厂房变形缝应避免穿过洁净区。

第4．1．4条送、回风管和其他管线需暗敷时，应设置技术夹层、技术夹

道或地沟等；穿越极层的竖向管线需暗敷时，宜设置技术竖井。

第4．1．5条对兼有一般生产和洁净生产的综合性厂房，其方案设计和构

造的处理，应避免在人流与物流运输以及防火方面对洁净生产带来不利影响。

@@& 第二节 人员净化和物料净化设施

第4．2．1条洁净厂房内应设置人员净化、物料净化用室和设施，并应根

据需要设置生活用室和其他用室。

第4．2．2条人员净化用室，宜包括雨具存放间、管理室、换鞋室、存外衣

室、盥洗室、洁净工作服室和空气吹淋室等。

厕所、淋浴室、休息室等生活用室以及工作服清洗间和干燥间等其他用室， 可根据需要设置。

第4．2．3条人员净化用室和生活用室的设计，应符合下列要求：

一、人员净化用室的入口处，应设净鞋器。

二、存外衣室和洁净工作服室应分别设置。外衣存衣柜和洁净工作服柜应按

设计人数每人设一柜。

三、盥洗室应设洗手和烘干设备。水龙头应按最大班人数每10人设一个。

四、洁净区不得设厕所。人员净化用室内的厕所应设前室。

五、空气吸淋室应设在洁净区人员入口处，并应与洁净工作服室相邻。单人

空气吹淋室按最大班人数每30人设一台。当仅为100级垂直层流洁净室时，可改

设气闸室。

洁净区工作人员超过5人时，空气吹淋室一侧应设旁通门。

第4．2．4条人流路线应避免往复交叉。人员净化用室和生活用室的布置，

一般按图4．2．4的人员净化程序进行布置。

第4．2．5条根据不同的空气洁净度等级和工作人员数量，洁净厂房内人

员净化用室和生活用室的建筑面积应合理确定。一般可按洁净区设计人数平均每

人4～6平方米计算。

第4．2．6条洁净工作服室内，对空气净化应有一定的要求。

第4．2．7条洁净室的设备和物料出入口，应根据设备和物料的性质、形

状等待征设置物料净化用室及其设施。物料净化用室的布置，应防止净化后物料

在传递过程中被污染。

@@& 第三节 防火和疏散

第4．3．1条洁净厂房的耐火等级不应低于二级。吊顶材料应为非燃烧体，

其耐火极限不宜小于0．25小时。

第4．3．2条洁净厂房内一般的生产工作间的火灾危险性，可按附录三进

行分类。

第4．3．3条甲、乙类生产的洁净厂房，宜采用单层厂房。其防火墙间最

大允许占地面积，单层厂房应为3，000平方米，多层厂房应为2，000平方米。

第4．3．4条甲、乙类生产或设置在甲、乙类生产环境中的装配式洁净室，

其顶棚和壁板（包括内部填充物）应为非燃烧体。

第4．3．5条在一个防火区内的综合性厂房，其洁净生产与一般生产区域

之间应设置非燃烧体隔墙封闭到顶。隔墙及其相应顶板的耐火极限不应低于1小

时，隔墙上的门窗耐火极限不应低于0．6小时。穿过隔墙或顶板的管线周围空隙

应采用非燃烧材料紧密填塞。

第4．3．6条技术竖井井壁应为非燃烧体，其耐火极限不应低于1小时。井

壁上检查门的耐火极限不应低于0．6小时；竖井内在各层或间隔一层楼板处，应

采用相当于楼板耐火极限的非燃烧体作水平防火分隔；穿过水平防火分隔的管线

周围空隙，应采用非燃烧材料紧密填塞。

第4．3．7条洁净厂房每一生产层、每一防火分区或每一洁净区的安全出

口的数量，均不应少于两个。但符合下列要求者，可设置一个安全出口：

一、甲、乙类生产厂房每层的总建筑面积不用过50平方米，且同一时间内的

生产人员总数不用过5人；

二、丙、丁、戊类生产厂房，符合国家现行的《建筑设计防火规范》的规定

者。

安全出口应分散均匀布置，从生产地点至安全出口不用经过曲折的人员净化

路线。

第4．3．8条洁净区与非洁净区和洁净区与室外相通的安全疏散门应向疏

散方向开启。安全疏散门不得采用吊门、转门、侧拉门以及电控自动门。 第4．3．9条 当洁净厂房同层外墙上可供消防人员通往厂房洁净区的门窗，

其洞口间距大于80米时，则应在该段外墙的适当部位设置专用消防口。

专用消防口的宽度不应小于750毫米，高度不应小于1800毫米，并应有明显

标志。

楼层的专用消防口应附设阳台，并从二层起向上设爬楼。

@@& 第四节 室内装修

第4．4．1条洁净厂房的建筑围护结构和室内装修，应选用气密性良好，

且在温度和湿度等变化作用下变形小的材料。墙面内装修当需附加构造骨架和保

温层时。应采用非燃烧体或难燃烧体。

第4．4．2条洁净室内墙壁和顶棚的表面，应符合平整、光滑、不起灰、

避免眩光、便于除尘等要求；应减少凹凸面，阴阳角做成圆角。室内装修宜采用

于操作；如为抹灰时，应采用高级抹灰标准。

第4．4．3条洁净室的地面，应符合平整、耐磨、易除尘清洗、不易积聚

静电、避免眩光、并有舒适感等要求。

第4．4．4条洁净厂房技术夹层的墙面、顶棚宜抹灰。如需在技术夹层内

更换高效空气过滤器时，宜增刷涂料饰面。

地面、回风地沟和位于地下的技术夹层，应采用防水或防潮、防霉措施。

建筑风道和回风地沟的内表面装修标准，应与整个送、回风系统相适应，并 应易于除尘。

第4．4．5条洁净室和人员净化用室设置的外窗，应采用双层玻璃金属窗，

并应有良好的气密性。

第4．4．6条洁净室内的密闭门宜朝空气洁净度较高的房间开启。无窗洁

净室的密闭门上宜设观察窗。

第4．4．7条洁净室门窗、墙壁、顶棚、地（楼）面的构造和施工缝隙，

均应采取可靠的密封措施。

第4．4．8条洁净室内的色彩宜淡雅柔和。室内各表面材料的光反射系数，

顶棚和墙面宜为0．6－0．8；地面宜为0．15--0．35。

@@& 第五节 装配式洁净室

第4．5．1条在新建或改建的洁净厂房设计中，对于面积不大、层高较低、

要求空气洁净度较高的生产环境可采用装配式洁净室。

第4．5．2条装配式洁净室所在的房间应有空气净化要求，并应与装配式洁

净室的空气洁净度等级相适应。外围建筑的耐火等级不得低于二级。

第4．5．3条装配式洁净室顶棚可由装配式洁净室本身内壁板或支柱支承，

也可固定在外围建筑上。回风地沟或回风地坑宜设在外围建筑的地面以下。

第4．5．4条装配式洁净室设计应满足在该室室内安装壁板的要求。装配

式洁净室的构配件应做到：连接构造的整体性强、气密性好，并便于组装、拆卸、

包装和运输。

第4．5．5条装配式洁净室的四周壁板中，宜有一面或两面紧贴或靠近外

围建筑的墙壁。紧贴时，壁板与墙壁之间的安装缝隙应封闭；靠近时，应留有清

扫距离。当装配式洁净室时,壁板外侧设有技术夹道时，壁板与外围建筑内墙面

之间净宽不宜小于600毫米。

第五章 空气净化

@@& 第一节 一般规定

第5．1．1条洁净厂房内各洁净室的空气洁净度等级的确定，应符合下列

要求：

一、洁净室内有多种工序时，应根据各工序的不同要求，采用不同的空气洁

净度等级。

二、在满足生产工艺要求的前提下，洁净室的气流组织，宜采用局部工作

区空气净化和全室空气净化相结合的形式。

第5．1．2条层流洁净室和乱流洁净室以及运行班次和使用时间不同的洁

净室，其净化空气调节系统均宜分开设置。

第5．1．3条洁净室内的计算温、湿度，应符合下列规定：

一、满足生产工艺要求；

二、生产工艺无温、湿度要求时，洁净室温度为20～26℃，湿度小于70％；

三、人员净化用室和生活用室温度为16－28℃。

第5．1．4条洁净室内应保证－定的新鲜空气量，其数值应取下列风量中

的最大值：

一、乱流洁净室后送风量的10－30％，层流洁净室总送风量的2～4％；

二、补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量；

三、保证室内每人每小时的新鲜空气量不小于40立方米。

第5．1．5条洁净区的清扫，宜采用移动式高效真空吸尘器或设置集中式

真空吸尘系统。洁净室内集中式真空吸尘系统的管道，应暗敷。

第5．1．6条在净化空气调节系统设计中，对施工和维护管理要求，可按

附录四和附录五的规定。

@@& 第二节 洁净室正压控制

第5．2．1条洁净室必须维持一定的正压。 不同等级的洁净室以及洁净区

与非洁净区之间的静压差，应不小于0．5毫米水柱；洁净区与室外的静压差，不

应小于1．0毫米水柱。

第5．2．2条洁净室维持不同的正压值所需的正压风量，宜按下式计算：

Q＝a．∑(q．L) （5．2．2）

式中Q一维持洁净室正压值所需的正压风量（立方米／时），

a一根据围护结构气密性确定的安全系数，可取l．l－l．2；

q一当洁净室为某一正压值时，其围护结构单位长度缝隙的渗漏风量（立方

米／时·米）；

L一围护结构的缝隙长度（米）。

第5．2．3条围护结构单位长度缝隙的渗漏风量 可按表5．2．3采用。

围护结构单位长度缝隙的渗漏风量 表5．2．3

┌───────┬──┬─┬──┬──┬──┬──┬──┐

│漏风 ＼门窗 │ │密│单层│单层│单层│传递│壁板│

│＼量（＼ 形 │非密│闭│固定│固定│开启│窗 │ │

│压差＼米^3 ＼式│闭门│门│密闭│密闭│式密│ │ │

│差（毫＼/时 ＼│ │ │木窗│钢窗│闭钢│ │ │

│米水柱）＼米）│ │ │ │ │窗 │ │ │

├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤

│0.5 │17 │4 │1.0 │0.7 │3.5 │2.0 │0.3 │

├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤

│1.0 │24 │6 │1.5 │1.0 │4.5 │3.0 │0.6 │

├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤ │1.5 │30 │8 │2.0 │1.3 │6.0 │4.0 │0.8 │

├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤

│2.0 │36 │9 │2.5 │1.5 │7.0 │5.0 │1.0 │

├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤

│2.5 │40 │10│2.8 │1.7 │8.0 │5.5 │1.2 │

├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤

│3.0 │44 │11│3.0 │1.9 │8.5 │6.0 │1.4 │

├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤

│3.5 │48 │12│3.5 │2.1 │9.0 │7.0 │1.5 │

├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤

│4.0 │52 │13│3.8 │2.3 │10.0│7.5 │1.7 │

├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤

│4.5 │55 │15│4.0 │2.5 │10.5│8.0 │1.9 │

├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤

│5.0 │60 │16│4.4 │2.6 │11.5│9.0 │2.0 │

└───────┴──┴─┴──┴──┴──┴──┴──┘

第5．2．4条送风、回风和排风系统的启闭应联锁。系统开启时，联锁程

序应为先启动送风机，再启动回风机和排风机；系统关闭时，则联锁程序应相反。 第5．2．5条 非连续运行的洁净室，可根据生产工艺要求在置值班风机，

并应对新风进行处理。

@@& 第三节 气流组织和送风量

第5．3．1条气流组织的选择，应符合下列要求：

一、洁净工作区的气流速度，应满足空气洁净度和人体健康的要求来。并应

使洁净工作区气流流向单一；

二、回风口宜均匀布置在洁净室下部；

三、余压阀宜设在洁净室气流的下风侧，不宜设在洁净工作区高度范围内。

第5．3．2条洁净室的气流组织和送风量，宜按表5．3．2选用。

气流组织和送风量 表5．3．2

┌───────┬───────────────┬───────┐

│空气洁净 │ 100级 │ 1000级 │

│度等级 │ │ │

├─┬─────┼───────┬───────┼───────┤

│ │气流流型 │垂直层流 │水平层流 │ 乱流 │

│气├─────┼───────┼───────┼───────┤

│流│送凤 │1.顶棚满布高效│1.送风墙满布高│1.孔板顶棚送风│

│组│主要 │空气过滤器送风│效空气过滤器 │2.条形布置高效│

│织│方式 │（高效空气过 │水平送风 │空气过滤器顶棚│

│形│ │滤器占顶棚面积│2.送风墙局部布│送风 │

│式│ │不小于60％） │置高效空气过滤│3.间隔布置带扩│

│ │ │ │器水平送风 │散板高效空气 │

│ │ │2.侧布高效空气│（高效空气过滤│过滤器顶棚送风│

│ │ │过滤器，顶棚设│器占送风墙面 │ │

│ │ │阻尼层送风 │积不小于40％）│ │

│ │ │3.全孔板顶棚送│ │ │

│ │ │风 │ │ │

│ ├─────┼───────┼───────┼───────┤

│ │回风 │1.格栅地面回风│1.回风墙满布 │1.相对两侧墙下│

│ │主要 │⑴满布 │回风口 │部均匀布置回 │

│ │方式 │⑵均匀局部布置│2.回风墙局部布│风口 │

│ │ │2.相对两侧墙下│置回风口 │2.洁净室面积较│

│ │ │部均匀布置回 │ │大时，可采用 │

│ │ │风口 │ │地面均匀布置 │

│ │ │ │ │回风口 │

├─┼─────┼───────┼───────┼───────┤

│送│气流流经室│不小于0.25 │不小于0.35 │ │

│风│内断面风速│ │ │ │

│量│（米／秒）│ │ │ │

│ ├─────┼───────┼───────┼───────┤

│ │换气次数 │ │ │不小于50 │

│ │（次／时）│ │ │ │

├─┴─────┼───────┼───────┼───────┤

│送风口风速 │孔板孔3～5 │ │孔板孔口3～5 │

│（米／秒） │ │ │ │

├───────┼───────┼───────┼───────┤

│回风口风速 │不大于2 │不大于1.5 │1.洁净室内回风│

│（米／秒） │ │ │口不大于2 │

│ │ │ │2.走廊内回风口│

│ │ │ │不大于4 │

└───────┴───────┴───────┴───────┘ 注：１.垂直层流洁净室采用相对两侧墙下部均匀布置回风口方式，仅适用于两对侧

侧墙间距不大于5米．

2.乱流洁净室送风量的确定，宜考虑室内含尘浓度不均匀扩散的因素．

┌───────┬───────────┬───────────┐

│空气洁净 │ 10,000级 │ 100,000级 │

│等级 │ │ │

├─┬─────┼───────────┼───────────┤

│气│气流流型 │ 乱流 │ 乱流 │

│流├─────┼───────────┼───────────┤

│组│送风 │1.局部孔板顶棚送风 │1.带扩散板高效空气过 │

│织│主要 │2.带扩散板高效空气过 │滤器顶棚送风 │

│型│方式 │滤器顶棚送风 │2.上侧墙送风 │

│式│ │3.上侧墙送风 │ │

│ ├─────┼───────────┼───────────┤

│ │回风 │1.单侧墙下部布置回风口│1.单侧墙下部布置回风口│

│ │主要 │2.当采用走廊回风时，在│2.当采用走廊回风时，在│

│ │方式 │走廊内均匀布置回风口或│走廊内均匀布置回风口或│

│ │ │在走廊端部集中设置回 │在走廊端部集中设置回 │

│ │ │风口 │风口 │

├─┼─────┼───────────┼───────────┤

│送│气流流经室│ │ │

│风│内断风面风│ │ │

│量│速 │ │ │

│ │（米／秒）│ │ │

│ ├─────┼───────────┼───────────┤

│ │换气次数 │不小于25 │不小于15 │

│ │（次／时）│ │ │

├─┴─────┼───────────┼───────────┤

│送风口风速 │1.孔板孔口3～5 │侧送风口 │

│（米／秒） │2.侧送风口 │⑴贴附射流2～5 │

│ │⑴贴附射流2～5 │⑵非贴附射流同侧墙下部│

│ │⑵非贴附射流同侧墙下部│回风1.5～2.5，对侧墙 │

│ │回风1.5～2.5，对侧墙 │下部回凤1.0～1.5 │

│ │下部回凤1.0～1.5 │ │

├───────┼───────────┼───────────┤

│回风口风速 │1.洁净室回风口不大于2│1.洁净室回风口不大于2 │

│（米／秒） │2.走廊内回风口不大于4│2.走廊内回风口不大于4 │

└───────┴───────────┴───────────┘

第5．3．3条乱流洁净室的送风量，应取下列规定的最大值：

一、为控制室内空气洁净度所需要的送风量；

二、按表5．3．2规定的送风量；

三、根据热、湿负荷计算和稀释有害气体所需的送风量；

四、按空气平行所需要的送风量。

第5．3．4条当生产工艺仅要求在洁净室内局部工作区达到更高的空气洁

净度时，其气流组织设计应使洁净气流首先流经该工作区，或在洁净室的不同区

域形成不同气流流型和空气洁净度等级的洁净工作区，其型式可分别按图5．3．

4－1、图5．3．4－2选用。

第5．3．5条层流洁净室内不宜设置洁净工作台；乱流洁净室内可设置洁

净工作台，但其位置应远离回风口。

第5．3．6条洁净室内有局部排风装置时，其位置应设在工作区气流的下 风侧。

--@@& 第四节 空气净化处理

第5．4．1条各等级空气洁净度的空气净化处理，均应采用初效、中效、

高效空气过滤器三级过滤。

注：100,000级空气净化处理,可采用亚高效空气过滤器代替高效空气过滤器。

第5．4．2条确定集中式或分散式净化空气调节系统时，应综合考虑生产

工艺特点和洁净室空气洁净度等级、面积位置等因素。凡生产工艺连续、洁净室

面积较大、位置集中以及噪声控制和振动控制要求严格的洁净室，宜采用集中式

净化空气调节系统。

第5．4．3条净化空气调节系统设计应合理利用回风。凡工艺过程产生大

量有害物质且局部处理不能满足卫生要求或对其他工序有危害时，则不应利用回 风。

第5．4．4条净化空气调节系统除直流式系统和设置值班风机的系统外，

应采取防止室外污染空气通过新风口渗入洁净室内的防倒灌措施。

第5．4．5条空气过滤器的选用、布置和安装方式，应符合下列要求：

一、初效空气过滤器不应选用浸油式过滤器

二、中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调节系统的正压段；

三、高效空气过滤器或亚高效空气过滤气宜设置在净化空气调节系统末端；

四、中效、亚高效、高效空气过滤器宜按额定风量选用；

五、阻力、效率相近的高效空气过滤器宜设置在同一洁净室内； 六、高效空气过滤器的安装方式应简便可靠，宜于检漏和更换。

第5．4．6条送风机可按净化空气调节系统的总送风量和总阻力值进行选

择。中效、高效空气过滤器的阻力宜按其初阻力的两倍计算。

第5．4．7条净化空气调节系统如需电加热时，应选用管状电加热器，位

置应布置在高效空气过滤器的上风侧，并应有防火安全措施。

@@& 第五节 采暖通风

第5．5．1条洁净室的采暖型式，应按下列不同情况确定：

一、100级、1000级、10，000级洁净室，不应采用散热器采暖；l00，000级

洁净室，不宜采用散热器采暖。

二、值班采暖可利用技术夹道的散热器进行间接采暖，或采用间歇运行净化

空气调节系统、值班风机系统进行热风采暖。

第5．5．2条散热器应采用表面光滑、不易积尘、便于清扫的型式。

第5．5．3条洁净室内产生粉尘和有害气体的工艺设备，应设局部排风装

置，排风罩的操作口面积应尽量缩小。

第5．5．4条局部排风系统在下列情况下，应单独设置：

一、非同一净化空气调节系统；

二、排风介质混合后能产生或加剧腐蚀性、毒性、燃烧爆炸危险性；

三、所排出的有害物毒性相差很大。

第5．5．5条洁净室的排风系统设计，应采取下列措施：

一、防倒灌措施；

二、含有易燃、易爆物质局部排风系统的防火、防爆措施。

第5．5．6条换鞋室、存外衣室、盥洗室、厕所和淋浴室等，应采取通风

措施。其室内的静压值，应低于洁净区。

第5．5．7条洁净室事故排风系统的换气次数，应采用每小时15～20次。

事故排风装置的控制开关，应分别设在洁净室和室外便于操作的地点，并应与净

化空气调节系统联锁，其室内宜设报警装置。

@@& 第六节 风管和附件

第5．6．1条风管断面尺寸的确定，应考虑能对风管内壁进行清洁处理，

并在适当位置设置密闭的清扫口。风管壁厚按附录六选用。 第5．6．2条 净化空气调节系统的新风管、回风总管，应设置密闭调节阀。

送风机的吸入口处和需要调节风量处，应设置调节阀。洁净室内的排风系统，应

设置调节阀、止回阀或密闭阀。总风管穿过楼板和风管穿过防火墙处，必须设置

防火阀。

第5．6．3条净化空气调节系统的风管和调节阀以及高效空气过滤器的保

护网、孔板和扩散孔板等附件的制作材料和涂料，应根据输送空气的洁净要求及

其所处的空气环境条件确定。

洁净室内排风系统的风管、调节阀和止回阀等附件的制作材料和涂料，应根

据排除气体的性质及其所处的空气环境条件确定。

第5．6．4条在中效和高效的空气过滤器前后，应设置测压孔。在新风管

和送回风总管以及需要调节风量的支管上，应设置风量测定孔。

第5．6．5条排除腐蚀性气体的风管，可采用塑料风管。其他风管以及风

管的保温和消声材料及其粘结刑，应采用非燃烧材料或难燃烧材料。

第六章 给水排水

@@& 第一节 一般规定

第6．1．1条洁净厂房内的给水排水干管，应敷设在技术夹层、技术竖井、

地沟管槽内或地下埋设。

洁净室内应少敷设管道。引入洁净室的支管宜明敷，但对空气洁净度等级要 求高的洁净室可暗敷。

第6．1．2条洁净厂房内的管道外表面，如可能结露，应采取防结露措施。

第6．1．3条管道穿过洁净室顶棚、墙壁和楼板处应设套管。管道与套管

之间应采取可靠的密封措施。

第5．1．4条管道不宜穿过防火墙。如必须穿过时，穿墙管及其套管应为

非燃烧体管材。

@@& 第二节 给水

第6．2．1条洁净厂房内的给水系统设计，应根据生产、生活和消防等各

项用水对水质、水温、水压和水量的要求，分别设置直流、循环或重复利用的给

水系统。高纯水系统应设置循环管道。

第6．2．2条管材的选择，应符合下列要求：

一、纯水管、高纯水管应采用硬聚氯乙烯管、聚丙烯管或不锈钢管；

二、冷却循环给水和回水管宜采用镀锌钢管；

三、生产用水设备与管道的连接宜采用优质软管；

四、管道的配件应采用相应的材料。

第6．2．3条洁净厂房内可设置开水供应设施；盥洗室内的盥洗盆宜供应

热水；软化水、纯水管适应预留清洗口；纯水终端净化装置应放在靠近用水点处。

第6．2．4条洁净厂房的周围，应设置洒水设施。

@@& 第三节 排水

第6．3．1条洁净厂房的排水系统设计，应根据生产排出的废水性质、浓

度、水量等特点确定排水系统，并应有废水处理或综合利用设施。 第6．3．2条 洁净室内的排水设备以及与重力回水管道相连接的设备，必

须在其排出口以下部位设水封装置，并应有防止水封被破坏的设施。

第6．3．3条 100级、1000级洁净室内，不宜设置地漏；如必须设置时，应

采用有盖地漏，并不应设排水沟。10，000、100，000级洁净室内允许穿过排水

竖管，但在竖管上不得设置检查口。

第6．3．4条洁净厂房内应采用不易积存污物、易于清扫的卫生器具、管

材、管架及其附件。

@@& 第四节 消防设施

第6．4．1条洁净厂房应根据生产的火灾危险性分类和建筑物耐火等级等

因素确定消防设施。

第6．4．2条洁净厂房室内消火栓给水系统的消防用水量不应小于10升／

秒，每股水量不应少于5升／秒；

第6．4．3条洁净厂房的消火栓设置，应符合下列要求：

一、消火栓的水枪充实水柱，不应小于10米。

二、消火栓的栓口直径应为65毫米，配备的水带长度不应超过25米，水枪喷

嘴口径不应小于19毫米。

第6．4．4条洁净室及其技术夹道和技术夹层内，均宜同时设置卤代烷或

二氧化碳等灭火设施和消防给水系统。对设有贵重设备仪器或生产的火灾危险性

较大的洁净室，以及当火灾发生时消防人员难以进入扑救的技术夹层和技术夹道 等部位，应同时设置卤代烷或二氧化碳等固定灭火装置和消防给水系统。

第七章 工业气体管道

@@& 第一节 一般规定

第7．1．1条工业气体管道的干管，应敷设在技术夹层、技术夹道内。氢

气和氧气管道宜明敷；如敷设在技术夹层、技术夹道内时，应采取良好的通风措

施。引入洁净室的支管宜明敷。

第7．1．2条高纯气体管道设计，应附合下列要求

一、根据计算确定管径；

二、管道系统应尽量短；

三、不宜设预留口；

四、不应出现“盲管”等不易吹除的部位；

五、干管和支管上应设置吹除口； 六、在管道系统上应设置必要的取样口。

第7．1．3条穿过洁净室墙壁或楼板的气体管道，应敷设在预埋套管内，

套管内的管段不应有焊缝。管道与套管之间应采取可靠的密封措施。

第7．1．4条氢气和氧气管道末端或是高点宜设放散管。放散管应高出

屋脊1米，并应设在防雷保护区内。

第7．1．5条气体净化装置应根据气源和生产工艺对气体纯度的要求进行

选择。气体终端净化装置应设在靠近用气点处。

第7．1．6条气体过滤器应根据生产工艺对气体含尘量的要求进行选择。

高纯气体管道应装设高气体过滤器。

@@& 第二节 管道材料、阀门和附件 第7．2．1条 根据不同的气体及其纯度和用途，管道材料应按下列规定选

用：

一、气体纯度大于或等于99．999％时，应采用不锈钢管；

二、气体纯度大于或等于99．99％时，直采用不锈钢管、铜管、无缝钢管；

三、气体纯度小于99．99％时，可采用无缝钢管；

四、管道与设备的连接段，宜采用金属管道；如为非金属软管时，宜采用聚

四氟乙烯管、聚乙烯管，不得采用乳胶管。

第7．2．2条高纯气体管道应采用密封性能好的阀门和附件，其材料与管

道相适应。阀门的密合圈应为有色金属、锈钢或聚四氟乙烯材料。阀门的填塞料

应采用聚四氟乙烯材料。

第7．2．3条高纯气体管道与附件连接的密封垫,应采用不锈钢、有色金属、

聚四氟乙烯或氟橡胶材料。

@@& 第三节 管道连接和清洗

第7．3．1条管道连接应采用焊接。高纯气体管道应采用承插焊。

第7．3．2条管道与设备、阀门的连接处，宜采用法兰、螺纹或其它密封

性能优良的连接件。螺纹处宜采用聚四氟乙烯带密封。

第7．3．3条高纯气体管道内的内壁、阀门和附件在安装前，应进行清洗、

脱脂等预处理。

@@& 第四节 安全技术

第7．4．1条工业气体管道设计的安全技术，应符合下列规定： 一、氢气管道的支管和放散管上，应设置回火防止器；

二、氢气和氧气管道应设置导除静电装置；

三、各种气体管道应设明显标志。

第7．4．2条洁净室内使用氢气时，宜在室内设置报警装置。

第7．4．3条各种气瓶应集中设置在洁净厂房外。当日用气量不超过一瓶

时，气瓶可设置在洁净室内。

第八章 电 气

@@& 第一节 配电

第8．1．1条洁净厂房的电力负荷等级，应根据生产工艺要求确定。净化

空气调节用电负荷、照明负荷，应由变电所专线供电。

第8．1．2条电源进线（不包括消防用电）应设置切断装置，并宜设在非

洁净区便于管理的地点。

第8．1．3条洁净室内的配电设备，应选择不易积尘的设备，并宜暗装。

大型配电设备不宜设在洁净室内。

第8．1．4条洁净室内的电气管线宜暗敷，管材应采用非燃烧材料。由非

洁净区进入洁净区的电气管线管口，应采取可靠的密封措施。

@@& 第二节 照明

第8．2．1条洁净室内的照明光源，宜采用荧光灯。如达不到照明设计的

技术经济指标要求时，也可采用其他光源。

第8．2．2条洁净室内一般照明灯具宜明装。如灯具嵌入顶棚暗装时，其

安装缝隙应采取可靠的密封措施。

洁净室内不应采用格栅型灯具。 第8．2．3条 无采光窗洁净区工作面上的照度值，不应低于表8．2．3的规

定数值。

无采光窗洁净区工作面上的照度值 表8．2．3

┌──────┬──────┬──┬───────┐

│识别对象的 │视觉工作分类│亮度│照度（勒克斯）│

│最小尺寸 ├──────┤对比├───┬───┤

│d（毫米） │等级 │ │混合 │一般 │

│及场所 │ │ │照明 │照明 │

├──────┼─┬────┼──┼───┼───┤

│d≤0.15 │Ⅰ│甲 │小 │2500 │500 │

│ │ │乙 │大 │1500 │300 │

├──────┼─┼────┼──┼───┼───┤ │0.15≤d≤0.3│Ⅱ│甲 │小 │1000 │300 │

│ │ │乙 │大 │750 │200 │

├──────┼─┼────┼──┼───┼───┤

│0.8≤d≤0.6 │Ⅲ│甲 │小 │750 │200 │

│ │ │乙 │大 │750 │150 │

├──────┼─┼────┼──┼───┼───┤

│d＞0.6 │Ⅳ│ │ │750 │150 │

├──────┼─┼────┼──┼───┼───┤

│通道、休息室│ │ │ │ │100 │

├──────┼─┼────┼──┼───┼───┤

│暗房工作室 │ │ │ │ │30 │

└──────┴─┴────┴──┴───┴───┘

第8．2．4条无采光窗洁净区混合照明中的一般照明，其照度值应该按等

级混合照明照度值的10－l5％采用，并不应低于150勒克斯。

第8．2．5条洁净厂房内应设置供人员疏散用的事故照明。在应急安全出

口和疏散通道转角处应设置标志灯。在专用消防口处应设置红色应急照明灯。

第8．2．6条洁净室内一般照明的照度均匀度不应小于0．7。

@@& 第三节 控制、通信和防护

第8．3．1条洁净厂房的净化空气调节控制系统，应满足生产工艺对温度、 湿度和正压的要求。净化空气调节系统所采用的电加热器，应设置无风断电保护。

第8．3．2条洁净厂房内应设置与厂房内外联系的通信装置。

第8．3．3条洁净厂房（包括技术夹层）应单独或组合设置感温、感光、

感烟等形式的火灾探测器。报警器（受讯台）应设置在有人值班的地点，供电应

可靠。

第8．3．4条洁净区内应设紧急按钮。如发生火灾危险时，应能发出报警

信号，并应同时切断风机电源。

附录一 名词解释

┌──┬──────┬────┬────────────┐

│序 │本规范用名词│曾用名词│解释 │

├──┼──────┼────┼────────────┤

│1 │洁净室 │ │根据需要，对空气中尘粒、│

│ │ │ │温度、湿度、压力和噪声 │

│ │ │ │进行控制的密闭空间,并 │

│ │ │ │以其空气洁净度等级符合 │

│ │ │ │本规范规定为主要特征 │

├──┼──────┼────┼────────────┤

│2 │洁净区 │净化区 │由洁净室所组成的区域 │

├──┼──────┼────┼────────────┤

│3 │人身净化用室│人净生活│洁净区工作人员在进入洁 │

│ │ │间 │净区之前按一定程序进行 │

│ │ │ │净化的辅助用室 │

├──┼──────┼────┼────────────┤

│4 │物料净化用室│ │物料在进入洁净区之前按一│

│ │ │ │定程序进行净化的辅助用室│

├──┼──────┼────┼────────────┤

│5 │技术夹层 │管道夹层│主要以水平构件分隔构成 │

│ │ │技术阁楼│的供安装管线等设施使用 │

│ │ │ │的建筑夹道 │

├──┼──────┼────┼────────────┤

│6 │技术夹道 │技术走廊│主要以垂直构件分隔成的 │

│ │ │技术管械│供安装管线等设施使用的 │

│ │ │技术夹墙│建筑夹道 │

├──┼──────┼────┼────────────┤

│7 │技术竖井 │ │主要以垂直钩件分隔构成 │

│ │ │ │的供安装竖向管线使用的 │

│ │ │ │井式建筑辅助空间 │

├──┼──────┼────┼────────────┤

│8 │建筑风道 │ │以建筑构件组成的风道 │

├──┼──────┼────┼────────────┤

│9 │轻型吊顶 │轻吊顶、│以轻型骨架和饰面板材安 │

│ │ │软吊顶 │装组成的顶棚 │

├──┼──────┼────┼────────────┤

│10 │粒 径 │ │指尘粒由某种测定方法测 │

│ │ │ │出的长度名义尺寸，并不 │

│ │ │ │含有具体的几何形状的意 │

│ │ │ │义。当采用光学显微镜测 │

│ │ │ │定时，是指尘粒投影通过 │

│ │ │ │测微标尺时为标尺刻度线 │

│ │ │ │所切两瑞的长度 │

│ │ │ │当采用光散射式粒子计 │

│ │ │ │数器测定时，是指标准尘 │

│ │ │ │粒（如聚本烯小球）作散 │

│ │ │ │射光强度的等效比较而得 │

│ │ │ │的综合效果 │

├──┼──────┼────┼────────────┤

│11 │含尘浓度 │ │指单位体积空气中所含悬 │

│ │ │ │浮尘粒的数量 │

├──┼──────┼────┼────────────┤

│12 │洁净度 │ │指洁净环境中空气含尘 │

│ │ │ │粒多少的程度 │

├──┼──────┼────┼────────────┤

│13 │全室空气净化│全面净化│通过空气净化等技术措施，│

│ │ │ │使室内整个空间的空气含尘│

│ │ │ │浓度达到本规范的空气洁净│

│ │ │ │度等级，这种方式称全室空│

│ │ │ │气净化 │

├──┼──────┼────┼────────────┤

│14 │局部空气净化│ │仅使室内工作区域特定的 │

│ │ │ │局部空间的空气含尘浓度达│

│ │ │ │到本规范的空气洁净度等级│

│ │ │ │这种方式称局部空气净化 │

├──┼──────┼────┼────────────┤

│15 │层流洁净室 │平行流 │在洁净室内，空气以均匀的│

│ │ │ │断面速度沿平行流线流动（│

│ │ │ │与流体力学的层流概念不完│ │ │ │ │全相同） │

├──┼──────┼────┼────────────┤

│16 │乱流洁净室 │ │在洁净室内，空气以不均匀│

│ │ │ │的速度呈不平行流线流动 │

├──┼──────┼────┼────────────┤

│17 │洁净工作区 │ │指洁净室内（除生产工艺特│

│ │ │ │殊要求外）离地面0.8～1.5│

│ │ │ │米高度的区域 │

├──┼──────┼────┼────────────┤

│18 │第一洁净工作│ │指水平层流洁净室工作区 │

│ │区 │ │内空气洁净度最后的工作位│

│ │ │ │置 │

├──┼──────┼────┼────────────┤

│19 │空气吹淋室、│风淋室、│强制吹除工作人员及其衣 │

│ │通道式空气吹│空气淋 │服上附着尘粒的设备 │

│ │淋室 │浴室 │ │

├──┼──────┼────┼────────────┤

│20 │气闸室 │ │为保持洁净区的空气洁净 │

│ │ │ │度和正压控制而设置的缓冲│

│ │ │ │室 │

├──┼──────┼────┼────────────┤

│21 │洁净工作服 │尼龙服、│为了把工作人员的皮肤和 │

│ │ │无尘服 │衣服产生的尘粒限于最小程│

│ │ │ │度所使用的灰尘量少的洁净│

│ │ │ │服装 │

├──┼──────┼────┼────────────┤

│22 │过滤器额定风│ │指在一定滤速下，使其效率│

│ │量 │ │和阻力为最合理时的过滤器│

│ │ │ │风量 │

├──┼──────┼────┼────────────┤

│23 │隧道式洁净室│ │在洁净室内采用层流罩组 │

│ │ │ │成隧道式的垂直层流型的局│

│ │ │ │部洁净工作区，以布置有较│ │ │ │ │高空气洁净度要求的生产工│

│ │ │ │序或生产流水线 │

├──┼──────┼────┼────────────┤

│24 │外围建筑 │ │指安装装配式洁净室所在 │

│ │ │ │的新建或改建建筑物 │

├──┼──────┼────┼────────────┤

│25 │气流组织 │ │指对气流流向和均匀度按 │

│ │ │ │一定要求进行组织 │

├──┼──────┼────┼────────────┤

│26 │滤膜显微镜 │ │将测定用薄膜过滤器捕集 │

│ │计数法 │ │到的尘粒用显微镜放大后，│ │ │ │ │观察尘粒大小和数量的方法│

├──┼──────┼────┼────────────┤

│27 │纯水 │去离子水│指温度25℃时，电阻率 │

│ │ │深度脱盐│大于0.1×10^6欧姆·厘米的│

│ │ │水 │水 │

├──┼──────┼────┼────────────┤

│28 │高纯水 │ │指温度25℃时，电阻率大于│

│ │ │ │0.1×10^6欧姆·厘米，水中│

│ │ │ │大于或等于0.5微米的尘粒│

│ │ │ │小于300粒／毫升，活微生│

│ │ │ │物小于9个／毫升的纯水 │

├──┼──────┼────┼────────────┤

│29 │纯水终端净 │纯水后处│在用水点附近，对水质作进│

│ │化装置 │理设备 │一步净化处理的装置 │

├──┼──────┼────┼────────────┤

│30 │高纯气体 │ │指纯度大于或等于 │

│ │ │ │99，9999％， │

│ │ │ │含水量小于5ppm的气体 │

├──┼──────┼────┼────────────┤

│31 │气体终端净 │ │在用气点附近，对气体作进│

│ │化装置 │ │一步纯化处理的装置 │

├──┼──────┼────┼────────────┤ │32 │高效气体过 │ │气体经过滤后，达到小于或│

│ │滤器 │ │等于0.5微米尘粒含量小于│

│ │ │ │或等于3.5粒／升的气体过│

│ │ │ │滤器 │

└──┴──────┴────┴────────────┘

附录二

洁净室空气洁净度的测试

一、洁净室的空气洁净度，应进行下列测试：

（一）空态、静态测试

空态测试：洁净室已竣工，净化空气调节系统已处于正常运行状态，室内没

有工艺设备和生产人员的情况下边行测试。

静态测试：洁净室净化空气调节系统已处于正常运行状态，工艺设备已安装，

室内没有生产人员的情况下进行测试。

（二）动态测试

洁净室已处于正常生产状态下进行测试。

二、洁净室的风量、风速、正压、温度、湿度、噪声的检测，可按一般通用、

空气调节的有关规定执行。

三、空态、静态测试

（一）测试前的准备

1、应对洁净室及其净化空气调节系统进行彻底清洁。

2、采用光散射粒子计数器对高效空气过滤器进行检漏测试。首先测定高效

空气过滤器的上风侧静压箱内（或风管内）粒径大于或等于0．5微米的尘粒数应

为大于或等于30，000粒／升。如若不够，可引入烟雾，然后开始检漏。将粒子计数器（或检漏装置）的采样口距离高效空气过滤器2--3厘米处，可以2～4厘米

／秒的速度移动，对高效空气过滤器整个断面 封头胶处和安装框架处进行扫描。

当粒子计数器读数为空气口大于或等于0．5微米的尘粒超过3粒／分·升（或其

穿透率大于0．01‰）即认为该处有明显渗漏，必须进行堵漏。

（二）测试内容

1、总送风量、总回风量、新鲜空气量、排风量等；

2、洁净室压力值；

3、层流洁净室断面风速和气流流向；

4、洁净工作区的洁净度；

5、室内温度、湿度及其控制能力的调整测试； 6、洁净室内噪声。

（三）洁净工作区空气洁净度的测试方法

对于粒径大于或等于0．5微米的尘粒计数，宜采用光散射粒子计数法。对于

粒径大于或等于5微米的尘粒计数。也可采用滤膜显微镜计数法。

光散射粒子计数法：

1、光散射粒子计数器采样量

100级：每次采样量大于或等于1升。

l，000级－l0,000级：每次采样量大于或等于0．3升。

100，000级：每次采样量大于或等于0．1升。

对于100级洁净室，宜采用大流量粒子计数器进行测试；

如果条件不具备时，可采用每次采样量不小于1升的粒子计数器。

2、采样注意事项 （1）采样管必须干净，连接处严禁渗漏。

（2）采样管的长度，应根据仪器的允许长度。当无规定时，不宜大于1．5

米。

（3）采样管口的流速，宜与洁净室断面平均风速相接近。测试人员应在采

样口的下风侧。

（4）采样顺序应按含尘浓度从低到高进行。

3、测点布置

（l）检测在洁净工作区内进行。当生产工艺无特殊要求时，取样高度宜为

离地面1米。

（2）层流洁净室测点总数不小于20点，测点间距为0．5～2．0米，粒径大

于或等于0．5微米的尘粒数允许有一个点超过。水平层流洁净室测点仅布置在第

一洁净工作区内。 （3）乱流洁净室可按洁净面积小于或等于50平方米布置5个测点（附图2）。

每增加20－50平方米，增加3--5个测点。

4、数据整理

（1）每个测点的数据整理应在测试仪器稳定运行的条件下连续三次采样，

取其平均值，即为该点的实测数值。

（2）对于大于或等于0．5微米的尘粒数确定：层流洁净室取各测定点最大

值，乱流洁净室取各测点的平均值。

（四）正压值测定应采用精度可达0．01毫米水柱的微压计。

四、动态测试。

在洁净工作区操作位置选择有代表性测点的气流上风向进行，测试方法同空

态、静态测试。

附录三 洁净厂房生产的火灾危险性分类举例

┌──┬────────────────────────┐

│生产│ 举 例 │

│类别│ │

├──┼────────────────────────┤

│甲 │微型轴承装配的精研间、装配前的检查间 │

│ │精密陀螺仪装配的清洗间 │

│ │磁带涂布烘干工段 │

│ │化工厂的丁酮、丙酮、环乙酮易燃熔剂的物 │

│ │理提纯工作间（光致抗蚀剂的配制工作间） │

│ │半导体材料厂使用氢气的拉晶间、硅烷热分解室 │

│ │集成电路工厂的化学清洗间（使用闪点小于28℃的易燃│

│ │液体者）外延间、化学气相沉积间和化学试剂贮存间 │

├──┼────────────────────────┤

│乙 │胶片厂的洗印车间 │

├──┼────────────────────────┤

│丙 │计算机房记录数据的磁盘贮存间 │

│ │显像管厂装配工段烧枪间 │

│ │磁带装配工段 │

│ │集成电路工厂的氧化、扩散间、光刻间 │

└──┴────────────────────────┘

附录四

净化空气调节系统

设计对施工的要求

一、风管、静压箱和附件的施工，应符合下列要求：

（一）施工现场应保持清洁。风管及其附件、静压箱、空气调节器、技术夹

层、机房以及其它设备、装置等的清洁工作应边施工边进行；

（二）风管、静压箱和附件等制作后，应存放在清洁、干燥的地点，并应采

取防止积尘的措施；

（三）采用复合钢板、镀锌钢板制作的风管，在加工、安装、施工过程中造

成的破损应补涂涂料；

（四）清扫、擦拭应选用不产尘、不掉纤维的工具和材料。

二、高效和亚高效空气过滤器的安装，应符合下列要求：

（一）必须在土建施工、净化空调系统初效、中效空气过滤器安装完毕，全

系统进行检查、擦试、吹洗运转12小时后方能进行；

（二）高效空气过滤器必须在安装时方可从保护袋中取出，同时应进行透光

目视检查。凡滤纸破损、漏胶和外框变形者，不得安装；

（三）过滤器与安装框架之间，必须采取密封措施；

（四）过滤器安装就位后，必须进行检漏和堵漏。

三、装配式洁净室、空气吹淋室、气闸室、余压调节阀等净化设备和部件的

安装，应严格按照产品的安装、施工要求进行。

附录五

净化空气调节系统设计对维护管理的要求

一、洁净室的空气，宜按附表５规定进行监测

洁净室的空气监测频数 附表5

┌──────┬──┬───┬────┬──────┐

│＼空气洁 │ │ │ │ │

│鉴测＼ 净度│100 │1000 │10,000 │ 100,000 │

│项目＼等级 │ │ │ │ │

├──────┼──┴───┴────┴──────┤

│温度 │每班二次 │

├──────┼──────────────────┤

│湿度 │每班二次 │

├──────┼────┬─────────────┤

│正压值 │每周一次│每月一次、 │

├──────┼────┼──────┬──────┤

│洁净度 │每周一次│每三个月一次│每六个月一次│ └──────┴────┴──────┴──────┘

附录六

净化空气调节系统风管壁厚

风管壁厚 附录6

┌─┬────────┬────────┬────────┬────────┐

│风│冷轧镀锌 │铝板制风管 │不锈钢板制风管 │塑料板制风管 │

│管│钢板制风管 │ │ │ │

│形├────┬───┼────┬───┼────┬───┼────┬───┤

│状│外径或最│壁厚 │外径或最│壁厚 │外径或最│壁厚 │外径或最│壁厚 │

│ │大边长 │（毫 │大边长 │（毫 │大边长 │（毫 │大边长 │（毫 │

│ │（毫米）│ 米）│（毫米）│ 米）│（毫米）│ 米 │（毫米） │ 米）│

├─┼────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤

│圆│100～200│0.5 │100～320│1.0 │100～500│0.5 │100～320│3.0 │

│形├────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤

│风│220～500│0.75 │360～630│1.5 │560～ │0.75 │360～630│4.0 │

│管│ │ │ │ │1120 │ │ │ │

│ ├────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤

│ │560～ │1.0 │700～ │2.0 │1250～ │1.0 │700～ │5.0 │

│ │1120 │ │2000 │ │200 │ │1000 │ │

│ ├────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤

│ │1250～ │1.2～ │ │ │ │ │1120～ │6.0 │

│ │2000 │1.5 │ │ │ │ │2000 │ │

├─┼────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤

│矩│100～200│0.5 │100～320│1.0 │100～500│0.5 │120～320│3.0 │

│形├────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤

│风│220～500│0.75 │360～630│1.5 │560～ │0.75 │100～500│4.0 │

│管│ │ │ │ │1120 │ │ │ │

│ ├────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤

│ │560～ │1.0 │700～ │2.0 │1250～ │1.0 │6300～ │5.0 │

│ │1120 │ │2000 │ │2000 │ │800 │ │

│ ├────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤

│ │1250～ │1.2～ │ │ │ │ │1000～ │6.0 │

│ │2000 │1.5 │ │ │ │ │1250 │ │

│ ├────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤

│ │ │ │ │ │ │ │1600～ │8.0 │

│ │ │ │ │ │ │ │2000 │ │

└─┴────┴───┴────┴───┴────┴───┴────┴───┘

附录七

本规范用词说明

一、执行本规范条文时，对于要求严格程度的用词说明如下，以便执行中区

别对待。

1、表承很严格，非这样作不可的用词：

正面词采用“必须”；

反面词采用“严禁”。

2、表示严格，在正常情况下均应这样作的用词：

正面词采用“应”；

反面词采用“不应”或“不得”。

3、表示允许稍有选择，在条件许可时，首先应这样作的用词：

正面词采用“宜”或“可”；

反面词采用“不宜”。

二、条文中指明必须按其他有关标准和规范执行的写法为：“应按……执行”

或“应符合……要求或规定”。非必须按所指定的标准和规范执行的写法为，“

可参照……”。

　

 

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